هدرجة رباعي كلوريد السيليكون في ثلاثي كلورو سيلان

تعتبر هدرجة الحرارة العالية لرابع كلوريد السيليكون طريقة مهمة لمعالجة رابع كلوريد السيليكون كمنتج ثانوي لعديد السيليكون. الهدرجة ذات درجة الحرارة العالية عبارة عن رباعي كلوريد السيليكون والهيدروجين كمواد خام ، يتم تسخينها بواسطة سخان الجرافيت 1200 ~ 1250 ، تفاعل الاختزال الحراري لإنتاج   trichlorosil ane .  

مزايا العملية هي أن النظام بأكمله مغلق ، ومناسب للتشغيل المستمر والمستقر ؛ Trichlorosil ane ||| منتجات عالية النقاء ، تحتاج إلى وصلات تقطير أقل. العيب هو أن التفاعل يحتاج إلى أن يتم تنفيذه عند 900 ~ 1400 أو حتى درجة حرارة أعلى وضغط مرتفع من 1 ~ 35MPa ، واستهلاك الطاقة كبير ؛ نظرًا لأن جهاز تسخين المفاعل هو حزام الجرافيت المتساوي الساكن ، فمن السهل تكوين غاز الميثان والغازات الأخرى تحت ظروف ضغط ودرجة حرارة عالية ، مما يؤدي إلى تلوث الكربون إلى البولي سيليكون في إنتاج دورة الدائرة المغلقة.