تكنولوجيا الهدرجة لدرجات الحرارة المنخفضة ورابع كلوريد السيليكون

تهدف تقنية هدرجة الكلور إلى إضافة حمض الهيدروكلوريك على أساس تقنية الهدرجة ذات درجة الحرارة المنخفضة لزيادة تقليل درجة حرارة التفاعل وزيادة إنتاجية ثلاثي كلوروس إيلان . يكون مبدأ تفاعل هدرجة الكلور كما يلي:   2SiCl4 (g) + H2 (g) + HCl (g) + Si (s) = 3SiHCl3 (g) . يتم إنشاء بلازما الهيدروجين عن طريق تفريغ الهيدروجين ، والذي يتم تمريره إلى المفاعل للتفاعل مع غاز رباعي كلوريد السيليكون. نظرًا لأن الهيدروجين ينفصل إلى ذرات هيدروجين ، فإن التفاعل يزداد بشكل كبير ويمكن أن يتفاعل بسهولة مع رابع كلوريد السيليكون لتكوين ثلاثي كلورو الإيلان . الهدرجة التحفيزية هي تقنية لإنتاج ثلاثي كلور الإيلان عن طريق تمرير خليط من رابع كلوريد السيليكون والهيدروجين عبر منخل جزيئي محمل بمحفز. مبدأ رد الفعل هو كما يلي:   SiCl4 (ز) + H2 (ز) SiHCl3 (ز) + حمض الهيدروكلوريك (ز) .