< >

عملية تقليل ثلاثي كلورو سيلان

طريقة التحكم في عملية اختزال ثلاثي كلورو سيلان تتضمن هذه الطريقة مرحلة التحكم الأولي في التفاعل ومرحلة التحكم في التفاعل المستقر ومرحلة التحكم في التفاعل النهائي. في مرحلة التحكم في التفاعل الأولي ، يتم التحكم في تدفق SiHCl3 تحت 260 متر مكعب / ساعة ، ويتم التحكم في تدفق H2 تحت 520 متر مكعب / ساعة ، ويتم التحكم في التيار بين 30-1000 أمبير. في مرحلة التحكم في التفاعل المستقر ، يتم التحكم في تدفق SiHCl3 بين 175-260 متر مكعب / ساعة ، ويتم التحكم في تدفق H2 بين 385-520 متر مكعب / ساعة ، ويتم التحكم في التيار بين 1000-2000 أمبير. في مرحلة التحكم في التفاعل النهائي ، يتم التحكم في تدفق SiHCl3 بين 130-250 متر مكعب / ساعة. يتم التحكم في تدفق H2 بين 360 و 520 متر مكعب / ساعة ، ويتم التحكم في التيار بين 100 و 800 أمبير. يحسن الاختراع من إنتاج ثلاثي كلورو سيلان ويقلل من استهلاك الطاقة ، مما يقلل من تكلفة إنتاج الشركات.

اتصل الآن

تفاصيل المنتج

المبدأ هو تقليل درجة نقاء t richlorosilane عالية النقاء مع الهيدروجين عالي النقاء على قلب السيليكون عالي النقاء عند حوالي 1100 لتوليد السيليكون متعدد الكريستالات المترسبة على قلب السيليكون. على أساس عملية سيمنز التقليدية ، تم تجهيز عملية سيمنز المحسنة بعملية داعمة لتوفير الطاقة وتقليل الاستهلاك وإعادة التدوير واستخدام كمية كبيرة من H2 و HCI و SiCI4 وغيرها من المنتجات الثانوية وكمية كبيرة من - انتاج الطاقة الحرارية. في عملية الإنتاج من البولي سيليكون ، يعد استخدام السيليكون الهيدروجين الكيميائي للحد من H2 في قضيب السيليكون المتولد على خطوات البولي سيليكون هو الخطوة الأكثر أهمية ، كما تكمن عملية معدل إنتاج البولي سيليكون للمفتاح العالي والمنخفض في التحكم في خطوات العملية ، وبالتالي يعد تحسين معدل إنتاج البولي سيليكون هو النقطة الرئيسية للتحكم في خطوات العملية ، وخطوة العملية تخضع لظروف عملية تفاعل درجة الحرارة العالية ، واستهلاك الطاقة العالي ، لتقليل استهلاك الطاقة ، من الضروري أيضًا التحكم في خطوة العملية بشكل معقول.

اترك رسائلك